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          提供一整套激光加工解決方案及相關(guān)配套設(shè)備。

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          超快激光技術(shù)突破,實(shí)現(xiàn)金剛石微米級(jí)無損切割

          2025-12-16

          超快激光技術(shù)突破,實(shí)現(xiàn)金剛石微米級(jí)無損切割

          超快激光技術(shù)近年來在金剛石加工領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)關(guān)鍵突破,通過飛秒或皮秒級(jí)脈沖的精準(zhǔn)控制,成功實(shí)現(xiàn)金剛石微米級(jí)無損切割。該技術(shù)利用超短脈沖的高能量密度,在材料內(nèi)部極短時(shí)間內(nèi)引發(fā)物理與化學(xué)變化,使金剛石從固態(tài)直接氣化,避免了傳統(tǒng)機(jī)械切割產(chǎn)生的熱損傷和微裂紋。例如,大族半導(dǎo)體研發(fā)的QCBD激光切片技術(shù),通過精確調(diào)控激光能量與光束形態(tài),克服了金剛石解理面與切片方向角度差異大的難題,將剝離面粗糙度控制在3μm以內(nèi),激光損傷層降低至20μm,顯著提升加工良率。

          技術(shù)核心在于超快激光的“冷加工”特性——脈沖持續(xù)時(shí)間極短,熱量來不及擴(kuò)散至材料其他區(qū)域,從而將熱影響區(qū)壓縮至微米級(jí)。中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所利用空間光調(diào)制器實(shí)現(xiàn)多焦點(diǎn)并行加工,在金剛石表面制備出粗糙度低于0.16μm的球狀微結(jié)構(gòu),驗(yàn)證了技術(shù)的高精度與效率。此外,超快激光與物質(zhì)相互作用的研究還拓展至材料改性領(lǐng)域,如通過光致滑移鐵電極化翻轉(zhuǎn)機(jī)制,為金剛石功能化應(yīng)用提供新思路。目前,該技術(shù)已逐步應(yīng)用于高性能電子器件、量子計(jì)算等高端領(lǐng)域,推動(dòng)金剛石從“超硬材料”向“多功能材料”轉(zhuǎn)型。

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